ゲージ球

B-Aゲージ UGD-1S

10-2 Pa台以下の圧力測定用のガラス管封入型B-A型電離真空計測定球です。
UDG-1Sはコバールガラス封止のB-Aゲージです。フィラメントはタングステン線です。ガス出し方式はグリッド通電方式を採用しており、ガス出し中でも圧力の測定が行えます。
ワイドレンジB-Aゲージ BRG-1B

高圧側の測定範囲を広げたB-Aゲージです。ガス出し方式はUGD-1Sと同様グリッド通電方式を採用しております。フィラメントはとくに高圧測定を考慮し、トリアコートイリジウム線を採用しております。
真空装置との接続はφ15アダプタを用いるかまたはφ70ICF付のガラスアダプタへガラス封着します。
ヌードイオンゲージ NIG-2F/NIG-2TF

B-A型電極をフランジに直接マウントしています。このまま装置に取付けますので、導管による誤差がなく超高真空の測定に適しております。グリッドには白金クラッドモリブデン線を用いておりますのでガスの汚染による誤差を極小にしております。
NIG-2Fはタングステンフィラメントを使用しております。また、NIG-2TFはイットリアコートフィラメントを使用して低温度化し、ガス放出を抑えて超高真空の測定を有利にしています。
サーモカップルゲージ TG-550C

大気からの使用が可能で、φ15アダプタにて取付けます。(最大加熱温度150 ℃、ただし、コネクタをはずした時)
コンポーネント
仕様
B-Aゲージ UGD-1S/ワイドレンジB-Aゲージ BRG-1B
型 名 | UGD-1S | BRG-1B | |
---|---|---|---|
ゲージタイプ | B-Aゲージ | ワイドレンジB-Aゲージ | |
形状 | ガラス管状 | ||
被測定真空室との接続 | φ15ゲージポート(Oリング) | ||
推奨測定範囲 | 10-6~0.1Pa | 10-6~10Pa | |
標準感度 | 0.075Pa-1N2に対して | ||
X線限界 | 約1.3×10-8Pa | ||
ベーク可能温度 | 400℃(ただし、Oリングシール時150℃以下) | ||
材質 | フィラメント | タングステン(2本) | トリアコート イリジウム(1本) |
ボディ | コバールガラス(真空封止) | タングステンガラス(開放) | |
使用可能 真空計電源 |
M-722HG・NI-10D※ | M-823HG | |
用途 | 一般真空用 | 高圧(10Pa)まで測定可能な B-Aゲージ、スパッタ等 |
ヌードイオンゲージ NIG-2F/NIG-2TF
型 名 | NIG-2F 954-7902 |
NIG-2TF 954-7903 |
---|---|---|
ゲージタイプ | ヌード型B-A | |
形状 | ヌード型 | |
被測定真空室との接続 | φ70ICF | |
推奨測定範囲 | 10-9~10-2Pa | |
標準感度 | 0.19Pa-1 N2に対して | |
X線限界 | 約2.7×10-9Pa | |
ベーク可能温度 | 400℃ | |
フィラメント | フィラメント材:タングステン(2本) | フィラメント材:イットリアコートイリジウム(2本) |
使用可能真空計電源 | M-923HG・NI-10D※ | |
用途 |
10-9Pa台まで | |
超高真空装置(ベーカブル装置用) |
サーモカップルゲージ TG-550C
型名 | TG-550C | |
---|---|---|
ゲージタイプ | サーモカップルゲージ | |
形状 | メタル管球 | |
被測定真空室との接続 | φ15ゲージポート(“O”リング) | |
測定範囲 | 10-1~200Pa | |
材質 | ボディ | ステンレス(SUS-304) |
使用可能真空計電源 | M-723HG/823HG/833HG/923HG | |
用途 | あら引き排気時測定用 |