キャパシタンスゲージ M-342DG

CEマーキング RoHS

キャパシタンスゲージ“M-342DG”は、圧力センサ部に小型シリコンMEMSチップを採用することで、温度、振動、気圧変動などの外部環境から受ける影響を最小限に抑え、高精度で安定した圧力測定、最小限のゼロ点調整頻度を実現した隔膜真空計です。

高精度で安定した圧力測定
・優れたゼロ点安定性
・温度依存性が低く、優れた安定性を温度調整機構なしで実現
・優れた耐振動ノイズ性能
コンパクト・低消費電力
・質量200 g、サイズW46 mm×H49 mm×L106 mmと軽量でコンパクト（※1）
・消費電力0.5 W

※1　質量とサイズは、継ぎ手NW16仕様の場合

真空中の圧力の高精度・長期間安定測定に幅広く対応

半導体、ディスプレイ、太陽電池など各種真空装置
・スパッタリング、PECVDなどの真空成膜プロセス圧力の制御、モニタリング
・ロードロック室、ウエハ冷却などのガス導入プロセス、システムの圧力管理
医療、バイオ、食品他各種産業、並びに各種研究開発用途
各種コーティング、プラズマ処理、真空封止、真空炉、分析装置、滅菌、真空ポンプ評価、分子蒸留　など

型名	M-342DG
型名	-1D	-1N	-11	-12	-13
フルスケール圧力（Pa）	13.33	133.3	1.333k	13.33k	133.3k
測定精度（％ of reading）	0.20(at 23 ℃)
ゼロ点温度係数（％ of F.S./℃）	0.01	0.005	0.002
スパン温度係数（％ of reading/℃）	0.01		0.005
分解能（％ of Full-scale）	0.01	0.005
測定下限圧力（％ of Full-scale）	0.01
実用測定下限圧力（％ of Full-scale）	0.05
実用制御下限圧力（％ of Full-scale）	0.5
応答速度（ms）	100	30
加圧上限	200 kPa(但しNW16、NW25のものは内部が陽圧にならないこと) *13.33 Pa仕様は130 kPa
電源電圧（VDC）	+13.5～26.4
消費電力（W）	0.5
アナログ出力（VDC）	0～10
使用温度/保管温度（℃）	0～50/-20～70(非動作時)
最大ケーブル長（m）	100(専用ケーブル)
ゼロ点調整方法	プッシュスイッチ、リモート入力
入出力コネクタ	D-sub9ピン(オス)
接ガス部材質	SUS304、SUS316、Si、ガラス、フッ素ゴム
フランジﾞ形状と質量	NW16(200 ｇ)、NW25(210 ｇ)、8-VCR メス(250 ｇ)、φ70ICF(460 ｇ)
対応	CEマーキング、RoHS、IP40
安全保障貿易管理規制	非該当
対応表示器	M-601GC(1ch接続タイプ)、M-603GC(3ch接続タイプ)

外形寸法図

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