コールドカソードゲージ M-370CG（真空計）

熱フィラメントを使用しておらず堅牢なコールドカソードゲージ(冷陰極電離真空計)です。
高真空から超高真空まで安定した圧力測定を実現します。

コンポーネント

特長

  1. 優れた測定安定性
    未放電による測定停止、圧力表示値のフラツキを削減
  2. 高真空下での良好な機動性
    未放電、放電遅れを解消
  3. 簡易なメンテナンス
    ・メンテナンスは部品交換のみ

※水素や酸素といった活性ガスの分圧が高い環境や、これらのガスを大量に使用する環境では、CCゲージの放電開始が著しく遅れる場合があります。そのような環境でご使用になる場合は、弊社にご相談ください。

用途

1 Pa～超高真空まで、各種真空測定に幅広く対応

  • 蒸着、スパッタリング、イオン注入、MBE
  • SEM、SIMS、AES、XPS、各種表面/ガス/質量分析
  • アニール、溶解、はんだ、リフロー、硬化、電子ビーム溶接
  • 加速器、サイクロトロン

仕様

型　名 コールドカソードゲージ
M-370CG-SP
セットポイント付タイプ		 M-370CG-RS
RS485タイプ
圧力測定範囲 1×10-7 ～ 1×100 （Pa）
入力電圧 DC+15 ～ 30 V
消費電力 2.4 W
アナログ出力 0 ～ 10 V －
セットポイント 2接点出力（DC30 V,1 A）
インターフェース － RS485
入出力コネクタ D‐sub9ピン
最大ケーブル長 300 m（1 mm2）＊1
使用温度範囲 5 ～ 55 ℃
保存温度範囲 -20 ～ 70 ℃（非動作時）
センサ－型名 CC1
センサー材質（主要部） 電極：Mo、絶縁石：Al2O2、ケース：SUS304
外形寸法（mm） 50(W)×50(D)×110(L)（継ぎ手 NW25仕様）
フランジ形状 NW25、NW40、φ70ICF
対応 CEマーキング、RoHS、IP40

＊1）M-601/603GC表示器を接続する場合はゲージケーブルの最大長は100 ｍとなります。

外形寸法図

ダウンロード

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お問い合わせ

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