真空ポンプ
低真空から超高真空までの各種のポンプならびに関連部品を取り揃え、各種ニーズにお応えする真空ポンプをラインナップしています。
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イオンポンプ/ノーブルポンプ用制御装置です。超高真空型と高出力型があり、接続するポンプにより動作可能圧力範囲と起動可能圧力が異なります。
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小型・軽量、省エネルギー化を実現したライトプロセス用のルーツ型ドライポンプです。
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吸着剤 (モレキュラシーブ) を内蔵し、油回転ポンプからの油蒸気による真空装置内汚染を防止・軽減するために使用します。
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パワーシリーズクライオポンプの性能に加え、冷凍機の高効率化により省エネ性能をさらにアップさせたクライオポンプです。
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マルチ運転での温度安定性の向上を実現したクライオポンプです。自己発熱機能を使用することにより安全な高速再生を実現します。
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3極型イオンポンプ (ノーブルポンプ) とチタンサブリメーションポンプを組み込んだ完全オイルフリーの真空ポンプです。
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低圧力での放電特性改良、高効率なベーキング、NEGポンプによって、超高真空領域での排気性能を改善した完全オイルフリーの真空ポンプです。
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イオンポンプ/ノーブルポンプは磁場中で冷陰極放電を起こすことで排気を行う完全オイルフリーの超高真空用ポンプです。
エドワーズ真空ポンプ
ロータリーポンプ、スクロールポンプ、ターボ分子ポンプ等、低真空から高真空までのエドワーズ社製真空ポンプをラインナップしております。
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ターボ分子ポンプと背圧ポンプを組み合わせた排気ユニットで、ボタン一つで始動から停止までを制御ができます。
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多段ドラッグステージを備えマルチステージで高圧縮比を実現したハイブリッドベアリング (マグネットとセラミック) 構造のターボ分子ポンプです。
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独自のベアリングシールド構造による完全オイルフリーの実現で、水蒸気によるベアリンググリース劣化防止、メンテナンスサイクルを長期化します。
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排気速度600 L/min～5000 L/minが用意されています。堅牢設計と各種アクセサリで高い性能と信頼性を発揮します。
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排気速度15 L/min～500 L/minまでの幅広いレンジを揃え、独自オイル供給機構等により振動・騒音が抑制されています。
四重極型質量分析計
残留ガスモニタ、プロセスガスモニタ、ガス分析などお客さまの測定目的に合わせた四重極型質量分析計・ガス分析システムを取り揃えております。
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10-9 Pa～2 Paの広範囲の圧力領域で動作可能で、到達圧力からスパッタリングプロセス圧力までをシームレスに測定可能です。
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シンプル設計且つ、多彩なオプションからの選択・取付けで様々な用途に対応する組み合わせ自由度の高いガス分析システムです。
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用途に合わせて最適な四重極型質量分析計にTMP排気系とオプションの組み合わせが可能なガス分析システムです。
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質量数1 ～ 410 m/zまで測定が可能な四重極型質量分析計で、高速測定モデル、高感度測定モデルをラインナップする四重極型質量分析計です。
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高感度・高機能で低ガス放出を実現したPC制御専用の四重極型質量分析計です。真空装置の残留ガスモニタに最適な低価格モデルも用意しています。
真空計
ピラニ真空計からキャパシタンスゲージ、超高真空用電離真空計まで、大気圧から超高真空までを測定する各種真空計をラインナップしています。
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熱フィラメントを使用していないため、未放電による測定停止・圧力表示値のフラツキを低減し、安定した圧力測定を実現する冷陰極型電離真空計です。
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ピラニ真空計と冷陰極型電離真空計のコンビネーションゲージです。大気圧から超高真空までの広い圧力領域を1台で測定可能です。
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外部環境からの影響を最小限に抑え、高精度で安定した圧力測定、最小限のゼロ点調整頻度を実現した隔膜真空計です。
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ヌ－ドイオンゲ－ジ、ガラスゲージ球、サーモカップルゲージ球など各種真空計の測定球を取り揃えています。
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金属製のB-A型電離真空計ゲージ球です。到達圧力からスパッタ等のプロセス圧力 (1 Pa台が測定可) までを1つのゲージで測定可能です。
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B-Aゲージ球、ワイドレンジB-Aゲージ球、ヌ－ドイオンゲ－ジの各ゲージ球用コントロールユニットで、オプションボードで機能拡張が可能です。
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ミニチュアB-Aゲージ用のコントロールユニットで、外部入出力を標準装備、オプションボードで機能拡張が可能モデルです。
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ミニチュアB-Aゲージ用のコントロールユニットで、外部入出力、RS-232C通信機能を標準装備しています。
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水晶振動子の共振インピーダンスの変化が圧力で変化することを利用した真空計で、大気圧から10-2 Paまでの広い圧力範囲の測定が可能です。
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トランスデューサ型真空計シリーズ用の表示器です。各種ゲージを自動認識し、1ch表示と3ch表示タイプの2モデルがあります。
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クリスタルゲージと熱陰極型電離真空計のコンビネーションゲージです。大気圧から超高真空までの広い圧力領域を1台で測定可能です。
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再現性、リニアリティーがよく、10 Paから10-7 Paの広範囲な圧力測定が可能な熱陰極型電離真空計です。
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Niフィラメントを採用し、耐蝕性を向上させ、RIE、CVDなどのハードプロセス装置に対応したピラニ真空計です。
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大気圧から測定できる手軽さと高いコストパフォーマンスを持つ、軽量・コンパクトな低～中真空領域の測定用ピラニ真空計です。
リークディテクタ
業界最高レベルの感度、応答性、安定性で、しかも操作性を可能な限り簡便化したヘリウムリークディテクタです。各種オプションも用意しています。
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HELENシリーズは、小型、軽量、可搬性をコンセプトに開発したポータブルタイプのヘリウムリークディテクターです。
配管・補助材料
ICFフランジおよびICF付接続部品類､ISO規格対応のクイックカップリングタイプ配管部品類など各種配管部品を取り揃えております。
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真空容器等をベーキングするために使用される「シースヒータ」です。 (大気側で使用するためのものです)
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MoO3微粒子とベース油（鉱油）を高濃度に配合したペースト状製品です。機械部品の嵌合部、摺動部、ネジ部に少量塗布するだけで摩耗、かじり、焼付きを防止します。
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コバールガラスまたは合成サファイアを封着したものをICFフランジに溶接した10-8 Pa以下の超高真空領域まで使用可能な覗き窓です。
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真空装置の内部が真空か、大気圧かを判定するための保護および安全回路用スイッチです。真空側が溶接構造で高真空装置でも使用可能です。
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クランプによる着脱容易なISO規格対応のセンターリングでシールする真空フランジおよび配管部品類です。呼び径10、16、25、40があります。
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超高真空装置用のICFフランジ配管接続用部品で、フイッティング、メタルアダプタ、ガラスアダプタ、φ15アダプタなどのラインアップがあります。
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小径から大口径、回転フランジ、変換フランジ等、各種の超高真空装置用のICFフランジを揃えています。別売りの専用の銅ガスケットでシールします。
バルブ
超高真空用のオールメタルバルブ､ポリィミドバルブ､L型バルブ、アイソレ－トバルブ、バリアブルリークバルブなど各種取り揃えております。
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カットバルブとベントバルブの機能を兼ね備えた自動バルブです。圧縮空気および配管は不要でポンプの真空力を利用しての油の逆流防止します。
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真空装置内に大気または特定ガスを導入するためのリークバルブで、真空シールおよび軸シールにはふっ素ゴム (バイトン) を使用しています。
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高真空、超高真空装置へのガス導入用の手動バルブで、軸シールはベローズ、真空シールはふっ素ゴム (バイトン) を使用しています。
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調節可能最少リーク量が6.7×10-9 Pa・m3/sec以下と微少流量領域からのガス導入が可能なバルブです。
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10-7 Pa程度の超高真空領域まで使用できるL型バルブです。バルブは手動または圧空で、さまざまな接続フランジの種類を取り揃えています。
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10-4 Pa程度の高真空領域まで使用できるL型バルブです。NW25フランジでバルブが手動または圧空の2種類があります。
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10-8 Pa程度の超高真空領域まで使用できるL型バルブです。真空シールにポリイミド樹脂を使用し、300 ℃までのベーキングが可能です。
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10-8 Pa以下まで使用できる全金属製の超高真空L型バルブです。400 ℃または450 ℃までのベークを伴う超高真空装置にも使用可能です。
導入機
超高真空用の回転導入機､直線導入機、セラミック封入の電流端子を高電圧、大電流導入用、小電流導入用など各種取り揃えています。
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セラミック封止の端子をICFフランジに溶接した電流導入端子です。超高真空装置や熱的負荷の大きい装置で使用されます。
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真空中の機器の直線運動の導入に用い、圧力が10-8 Pa以下の超高真空領域まで使用できる直線導入機です。
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真空中の機器の回転運動の導入に用い、圧力が10-8 Pa以下の超真空領域まで使用できる回転導入機です。磁気結合型とベローズ式があります。
X線源
安定した出力で高解像度・高速撮影を可能にする透過密閉型X線管を搭載したマイクロフォーカスX線源です。
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2 μm解像度 (at 6 W) を実現し、高解像で高速撮影を可能にする工業用非破壊検査向けX線源シリーズです。
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4 μm解像度 (at 10 W) を実現し、高解像で高速撮影を可能にする工業用非破壊検査向けX線源シリーズです。
